二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A #293768580 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A是一种设计用于薄膜金属化工艺的光敏处理设备。该系统是用于去除光刻胶并将其沉积到基板表面的设备的集成平台，非常适合用于制造高精度电子元件。该装置包括三个主要组成部分：一个湿式加工站、一个光致抗蚀剂去除机和一个气相沉积工具。湿加工站包括一套用于生产高质量光刻胶的精密罐。这些储罐非常精确，可以形成亚微米抗蚀剂图样，可以用来在基板上形成超细的特征。这些储罐允许自动化的音量控制、压力控制和化学控制，确保最优化的加工条件。光致抗蚀剂去除资产的设计是从基板表面精确去除光致蚀剂。它利用强大的氮等离子体使光致抗蚀剂汽化，留下干净的底物表面。该模型能够从尺寸达55mm的基板上去除光致抗蚀剂，精确度能够达到10nm以下的深度分辨率。气相沉积设备被用作光致抗蚀剂应用过程的一部分。它采用高温气相沉积工艺涂抹光致抗蚀剂。这种沉积过程非常精确，能够将光致抗蚀剂沉积到0.1um精度以内。整个系统设计为在严格的质量控制要求下运行。该装置能够进行广泛的测试和检查，包括：厚度精度测量、表面清洁度测量、线宽测量和显微镜测量。这些测试确保以精确可靠的方式应用所需的光致抗蚀剂。总体而言，DNS SC-W60A是一种先进的光刻加工机器，能够产生超细、精密的基板特性。该工具专为生产高精度电子元件而设计,旨在提供一致、可靠和可重复的结果。