二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A #9181754 待售

DNS / DAINIPPON SC-W60A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SC-W60A
ID: 9181754
晶圆大小: 8"
Coater, 8".
DNS/DAINIPPON SC-W60A是一种高度先进的光阻涂层和成像设备,设计用于制造半导体集成电路。该系统由一个底盘、一个由激光投影仪、镜头组件、投影光学器件和转向镜组成的光学成像单元以及一个用于光刻涂层材料的集成送货机组成。DNS SC-W60A的机箱被设计为一个稳定的成像工具环境,即使在涂覆极好的特性时也能确保精度和精确度。其全钢结构采用防振支架,确保资产能够精确跟踪甚至最精细的图样,而集成精密微控制器则确保快速可靠的成像能力。该成像模型旨在直接在光刻材料上产生高质量的图像。它能够将激光投射到光致抗蚀剂上,然后将其成像到薄膜表面。成像设备也被设计成高度精确和精确;它能够创建复杂的上缩放和下缩放模式,从而准确地产生小特征,且几乎不会失真。其先进的光学器件在光刻胶表面提供均匀的光束强度,确保100%的成像覆盖率。DAINIPPON SCW-60A的集成输送系统设计为提供最佳的光阻涂层。它的可编程滚筒确保在基板上有精确的厚度甚至涂层,而它的多步输送单元则确保每次均匀一致的输送压力。该机还能够快速、准确地调制送货速度,确保精确的模式控制,几乎没有浪费。SC-W60A光敏工具是在半导体集成电路上产生高精度微结构的一种强大而精确的工具。其先进的设计和集成的交付资产使高图像清晰度收益能够持续精确的阵列。其全钢结构配有防振支架,通过长期生产确保稳定性,而其可编程滚筒模型和多步输送设备则确保了涂层的一致性和精确度,几乎没有浪费。所有这些特性结合起来,为现代半导体制造需求打造了理想的光刻系统。
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