二手 DNS / DAINIPPON SC-W629-BVQ #293748585 待售

DNS / DAINIPPON SC-W629-BVQ
ID: 293748585
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DNS/DAINIPPON SC-W629-BVQ是专门为半导体光刻应用设计的两部分液体光刻系统。光致抗蚀剂是一种正音化学复合材料,由水性感光层和非感光保护层组成,在半导体器件制造过程中,在各种基材和工艺条件下提供出色的分辨率、高灵敏度图样传递和可靠的性能。水性感光层由供体聚合物、引发剂、粘合剂和敏化剂组成。供体聚合物是一种聚乙烯胺,含有至少4%的甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和将HEMA与聚乙烯基氨基增塑剂结合的引发剂-粘合剂。水性感光层的感光器以Co (NH3) 6Cl3为基础,在广泛的光谱范围内提供出色的图样传递。这种敏化剂对365纳米(nm)和248nm波长的紫外线照射特别有效,建议用于0.30微米和较小的特征尺寸。非感光保护层是一种聚合物基二次涂层,有助于保护底层的光致抗蚀层。该层在光刻应用中提供了活性感光层与工艺环境之间的有效化学屏障。它对大多数在加工过程中使用的溶剂和其他化学物质具有抗性,并附着在下面的光敏层上而不分层。DNS SC-W629-BVQ光刻胶系统设计用于光刻,适用于25至40°C的标准加工条件。这种光刻胶具有出色的分辨率、图样传递、蚀刻电阻率、与碱性蚀刻剂的兼容性以及高光速。这种光致抗蚀剂耐溶剂,紫外线稳定,曝光后烘烤稳定,非常适合半导体器件制造中的多个工艺步骤。总体而言,DAINIPPON SC-W629-BVQ光刻胶系统是半导体器件制造的绝佳选择,因为它可以生产高质量、高分辨率的细线图桉。它提供可靠的性能、高分辨率和广泛的过程兼容性,使其成为电子元件形成过程中的宝贵工具。
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