二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9227384 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AG光刻设备是一种用于半导体制造和其他类型微电子制造的光刻系统。这个单元是一个可编程的，低速接触式激光扫描仪与衍射光栅光学。它具有80毫米x 80毫米的扫描面积，能够将微米范围内的矩形和方形光刻物图桉暴露在亚微米范围内。本机常用于硅片等工程基材上。DNS SCW-80A-AG工具利用接触式激光扫描头，该头使用衍射光栅作为扫描光学的一部分。衍射光栅用于将激光束分解成多个衍射光束，然后将它们引导到晶圆表面上。当激光器的输出被改变为形成多个强度相等的"像素"或小平行四边形时，会形成一个调制光束。然后利用这种调制光束在光刻涂层晶片上曝光所需的图桉。DNS系统的设计可实现精细的模式定义,具有准确和可重复的模式,在批处理过程中高晶圆计数的高吞吐量速度,以及出色的分辨率。这项资产能够将亚微米上的图样暴露于10 µm或更小的高密度均匀特征尺寸。DAINIPPON SC W80A AG模型可用于打印各种应用,如DRAM、DRAM型存储器和大规模集成（LSI）电路模式。重要的是要注意，这种设备的分辨率能力取决于所使用的照片抵抗材料的特性、暴露的设备图样的精密程度以及扫描仪的光学分辨率能力。该系统与MOD-X、Vision Plus和Autoline晶圆感知系统以及其他流行的CAD和光掩码系统兼容。该单元还具有用户友好选项,如触摸屏监视器控件和自动对齐算法（AAA）,用于精确对齐偏移调整。DNS SC-W80A-AG机器提供了一种为复杂设备创建高度精确模式的可靠方法。由于其高分辨率的扫描能力、出色的吞吐量和用户友好的特点，这款工具是生产规模的半导体和微电子器件制造的经济高效的解决方桉。