二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9274812 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SC-W80A-AG
ID: 9274812
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Coater system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AG是一种提供高分辨率和高精度处理的最先进的光刻胶曝光设备。光致抗蚀剂曝光是制造半导体器件的关键一步,需要高度的精度和精确度来保证产品质量。DNS SCW-80A-AG系统旨在满足这些要求。该机组配备了先进的双光束曝光头,可容纳两个曝光光束,最大总能量为1.2千瓦。这提供了极高的分辨率,以确保在光敏胶片上形成一致、准确的图样。曝光头可以倾斜以获得最佳曝光角度,其定位可以用X轴和Y轴调节,以确保曝光精确在所需的区域。机器也可以自由编程,以微调曝光参数,以获得更高的精度。此外,DAINIPPON SC W80A AG工具包括可由可编程控制资产控制的扫描仪和曝光表。这样就可以轻松、快速地执行各种曝光模式。可以移动和旋转工作台,以便精确定位设备或基板以获得最佳曝光。DNS/DAINIPPON SCW-80A-AG模型能够产生0.2微米的最小线宽。此外,设备还具有内置的机械和电气安全功能,可防止意外暴露。此外,晶圆清洗和预处理系统可以集成到设备中进行自动化处理。总体而言,DNS SC-W80A-AG是一种先进的、最先进的光刻胶曝光机。它配备了双曝光光束和能够精确定位基板的扫描仪和桌子。此外,它还提供高分辨率、高精度处理,最小线宽为0.2微米。该工具还提供各种安全和自动化功能,使其成为那些只需要最好的底物的人的理想选择。
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