二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV #293617281 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SC-W80A-AV
ID: 293617281
优质的: 1992
Coater / Developer system 1992 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AV是一种全自动光刻设备,其设计目的是通过旋转涂层将光刻材料精确地施加到基板上。它具有一个带有旋转盘的平台,该平台将基板旋转在一个较低的腔室中,以便均匀地分布光敏材料。基材被放入腔室,在那里它被预先调节,以便准备基材接收光致抗蚀剂。预调理后,光刻胶再加入到腔室中。光致抗蚀剂添加到腔室后,基板以各种速度和/或不同方向旋转,以扩散光致抗蚀剂并确保均匀分布。该系统允许对这些自旋涂层参数进行精确调整,以微调涂层工艺并提供最佳应用。该单元由基于计算机的用户友好界面控制,用户可以轻松配置腔室和基板的设置。此外,该机器还配备了集成的、支持Web的数据记录器。这使用户能够远程监视和记录旋转涂层工艺,以及查看和分析结果,以便进行任何必要的调整。DNS SC-W80A-AV允许广泛的涂层要求,提供了极大的灵活性和多功能性。该工具可以处理各种尺寸、形状和材料的基板,直径可达8英寸。此外,该资产还配备了快速释放机制,使用户可以轻松更换基板,同时保持适当的防风屏障和气密完整性。该模型的设计保证了旋转涂层工艺的高精度和可重复性。平台采用触摸式电容式水平片传感器检测基板的存在,使设备能够精确测量基板高度,并相应调整自旋涂层参数。此外,系统还包括一个内置的视觉检查单元,允许用户在制造前检查光刻胶中的任何缺陷。总体而言,DAINIPPON SCW-80A-AV是一台非常精确、用户友好的光刻应用机器,为用户提供了广泛的选项,以实现其旋转涂层过程中所需的结果。凭借其集成的数据记录工具、精确的调整设置和自动化操作,该资产非常适合精确高效的光刻应用,使其成为研究实验室、生产设施和其他工业环境的宝贵工具。
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