二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP #9300629 待售
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ID: 9300629
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
SOG Curing furnace, 8"
Cassette to cassette
Buffer indexer interface between SOG Track and furnace
Vertical / Horizontal laminar flow loader station
(3) Zone vertical tube furnaces
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP是为微电子工业中的大批量生产过程而设计的光刻设备。它是一种先进的工具,结合了最新的光阻技术和自动化的流程功能,能够在保持流程控制的同时提供尽可能高的产量。该系统由预处理单元和晶圆处理单元两部分组成。预处理装置设计用于在加工进行之前在晶片上铺设一层光敏材料膜。这种薄膜有助于确保均匀的涂层,这是可靠产量所必需的.晶圆处理单元设计为使用光刻来定义晶圆表面上的图样。这是通过对光致抗蚀剂的进一步处理和光致抗蚀剂剥离机中的清洁来实现的。DNS SCW-80A-AVFGLP具有高精度步进电机,可精确对齐晶圆表面上的螺距。这样可以确保晶片上的图样准确且均匀。其他功能包括激光对准器，以实现更精确的运动，以及各种光学和电子传感器和工艺，以确保高产量。该设备还具有自动分选功能,可快速对加工后的晶片进行排序。DAINIPPON SC-W80A-AVFG （LP）的性能由于机器提供的自动化而被报告为准确且可重现。软件控制参数,例如温度、曝光时间、工艺材料和工艺步骤。这有助于提供统一的结果选项时间。该工具还设计用于高吞吐量，步进电机每秒可处理多达6个晶圆。综上所述，DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVFGLP是为微电子行业高通量生产而设计的高端光刻资产。激光对准器、自动化以及精确的运动和过程控制相结合，使其能够以高产率提供准确、可重现的结果。
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