二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #293705460 待售
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DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVG光刻设备是一种专为半导体器件制造而设计的专业光刻系统。它利用先进的紫外线激光将图样精确地暴露在光刻胶（一种光敏聚合物，用于在半导体工艺步骤中制造遮罩）上。该单元结合了最新技术，例如高分辨率光学，以及经过优化的软件接口，以提供出色的成像结果和过程可重复性。DNS SC-W80A-AVG包含一个超高分辨率步进/扫描仪，配有紫外线激光和光学器件，用于投影图像图样并将其移动到光致抗蚀剂上。步进/扫描仪可以在扫描模式或激光模式下操作，为用户提供最大的灵活性。机器还包括一个优化的图形用户界面（GUI），用于控制成像过程参数，如曝光和剂量设置。激光源不需要热身时间，提供小至5µm的曝光点大小，是微电子行业的理想选择。它旨在最大程度地减少暴露过程中可能出现的非聚焦或球面像差。此外,它还旨在减少成像过程中所需的扫描时间,提高吞吐量并消除等待时间。DAINIPPON SC-W80A-AVG还包括一个真空卡盘和一个可控的环境室，用于安全可靠的光刻胶加工。卡盘提供稳定和可重复的对准，其四点控制工具减少振动并产生高质量的图像。环境室提供一个可控的大气，并防止污染，确保一个理想的环境光刻加工。资产还具有Z度控制、x-y方向信号调节、集中波束输出控制、图像边缘增强等先进曝光控制功能。其整体精度为± 5 µm，可重复性为± 2 µm。SC-W80A-AVG还包括各种其他功能,例如数据存储和检索模型、诊断反馈设备和维护警报系统。对于要求最高图像质量和可重复性的制造商和研发组织来说，这个单元是一个极好的选择。
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