二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #9157627 待售

DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG
ID: 9157627
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Coater / Developer system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVG光刻设备是一种用于先进光刻工艺的工具。该系统利用最先进的光源和光掩码技术提供了精度和可重复性。该装置的核心装有一个光源:氟化K准分子激光器。这种强大的激光器提供了深紫外线(UV)发光源,使一个小的特征尺寸能够以高速和分辨率打印。DNS SC-W80A-AVG机器可以利用激光器的功率来产生小于10纳米(nm)的特征尺寸。该工具还具有设计良好的光路,为操作提供精确的模式生成和光学对准。该光学器件具有一个浮动的可移动遮罩平台以及支持遮罩和激光聚焦的固定光架。这样可以精确地对准掩模和激光,确保模式重新对准+/-1 µm。DAINIPPON SC-W80A-AVG资产除了具有卓越的光学性能外,还具有先进的光掩模技术。这项技术的作用是在面膜和基板系统上分配光致抗蚀剂,使它们彼此隔离。使用先进的光掩模可确保掩模和基板不会发生光阻串扰或污染,从而导致性能低下。总体而言,SC-W80A-AVG光刻模型是一种先进的光刻工具,提供卓越的光学和光掩模技术.其强大的KrF准分子激光器可实现极小特征尺寸的精密特征打印,而精密的光路则可确保精确的图桉生成和对准。此外,先进的光掩模技术可以防止污染,使用户能够获得优异的性能和可重复性。
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