二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #188553 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ是一种光阻设备，由模块化处理工具组成，可以支持多种类型的光刻应用，包括单掩模成像和双掩模成像（DM）。该系统专为满足先进半导体光刻工艺的需求而设计，提供了一种能够产生∅40 nm或更小特征的高精度、可重现的成像解决方桉。该装置配备了最先进的激光投影线宽（LPL）能力，能够产生亚微米的配准和成像精度。它还能够在3 nm内产生最精确的对齐标记，并具有可靠的覆盖精度。机器的主要部件是投影镜头，其设计目的是将高分辨率图像投射到晶圆上，有效场大小可达335毫米。透镜工具利用0.82的高数值光圈（NA），可实现高聚焦深度和高分辨率。资产还具有电机驱动级，它提供了对晶圆上的对准和图像位置的精确控制。该级利用一对精密的直线电动机轴，允许全自动对准图像和晶圆。此外，该模型还具有温度控制环境，以确保光致抗蚀剂以所需的剂量适当暴露。DNS SC-W80A-AVQ还包括一个复杂的工具界面,它提供了广泛的用户友好功能。它包括访问预编程配方和监控工艺状态的能力，以及能够自动适应不断变化的抗蚀剂和基板类型的自动工艺优化和参数设置。它还包括曲线拟合等独特功能，使设备能够适应抵抗特性的变化，以及超高精度的曝光控制能力，能够使用先进的预测曝光技术进行精确剂量调整。总体而言，DAINIPPON SCW-80A-AVQ是一种先进的光刻系统，旨在为先进的半导体光刻工艺提供可靠和精确的成像解决方桉。它配备了高精度的投影镜头、电机驱动的舞台、温度控制的环境、坚固的工具界面，以及几个可以提高工艺精度和重复性的先进功能。