二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9095606 待售

DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ
ID: 9095606
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Coater system, 8", 1995 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ是一种光敏涂层设备,设计用于在基板上沉积光敏薄膜。它是一个利用主轴沉积法在各种尺寸的晶片上应用光刻胶的全自动系统。该装置使用主轴沉积,这是一个沿x、y和z轴旋转自旋涂层主轴的过程,允许光刻胶均匀沉积。主轴可以以高达300 RPM的速度旋转,非常适合精确的涂层。而且可以在0.1 RPM内调速,以进一步优化工艺。该机器还具有内置的空气冷却装置,确保晶片上的光刻胶不会过热。该工具具有多种泵类、阀类和喷嘴调节器,以确保光刻胶的精确沉积,并确保涂在基板上的流速和总膜质量在整个涂层中保持相对均匀。此外,该资产还具有前馈补偿功能,可提供精确且可重复的涂层。该模型配有触摸屏,操作方便,具有独特的算法监控功能,方便快捷的统计过程控制和反馈控制。这有助于确保自动调整所有用户定义的设置以获得最佳结果。该设备还配备了各种各样的安全系统,旨在确保其操作员的安全。其中包括大衣保护系统、超速保护单元和超排保护机器。所有这些安全系统都能保护操作员和被涂覆的晶片。总之,DNS SC-W80A-AVQ是一种精密、设计精良的光敏涂层工具。其种类繁多的特点使涂层能够准确和可重复,而其种类繁多的安全系统确保其操作员的安全和遵守所有安全法规。这使资产成为满足高精度涂层需求的理想选择。
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