二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9373064 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ是一种自动化光刻处理设备,能够在批量生产应用中处理大型晶片。它设计用于晶片的单层和多层处理,尺寸可达8英寸,能够实现≤5µm的光掩码配准精度。该系统还具有高速、高精度、多轴检测和模式识别单元。DNS SC-W80A-AVQ提供了广泛的功能,以确保高质量的输出。它配备了一个自动晶片对齐机，能够在处理过程中处理± 0.5 µm的光掩模和基板之间的不对准，并且能够识别和拒绝不正确对齐的基板。该工具还具有高性能斜纹蚀刻资产,专门为高长宽比结构和嵌入式线/孔设计。此外,该模型还设计用于低成本和高生产率的操作。它配备了高速、高精度的传输设备，能够达到≈8秒的循环时间，吞吐量高达200晶圆/小时。该系统还具有一个多层卡带单元，能够存储多达20个光掩码，使用户能够连续运行多个掩码。DAINIPPON SCW-80A-AVQ配备了一系列监控功能。这些功能包括对基板对准和曝光条件的实时监控，以及一个专用的控制器单元，可以方便机器操作和监控。该工具还具有先进的数据管理资产,允许用户存储和查看流程特性和参数,并快速输入新的单一或重复流程配方。为确保高质量输出,DNS SCW-80A-AVQ采用集成缺陷检测模型。该设备能够检测颗粒、折痕、剥落和发育不足等缺陷。它还配备了自动化的工作计划和预算质量控制系统,可以检测和分析工作计划和预算上的异常信号,如弯曲、变薄和磨损。总体而言，SC-W80A-AVQ光敏处理装置是一种高度先进的高性能机器，旨在促进批量生产应用。它提供了广泛的功能,包括高速、高精度传输和模式识别系统,以及复杂的数据管理和监控系统。因此,DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVQ是任何需要高水平光掩模配准精度和缺陷控制的实验室或生产环境的理想选择。