二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A #293592644 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A是一种自动化光刻设备，用于应用6"/8"半导体和平板显示器的光刻和曝光后烘烤（PEB）以及其他大面积基板。它是一个全自动的、高度精确的系统，包括用于预烤、抗旋转、光刻胶对准、曝光和PEB的精密控制过程。DNS SC-W80A装置的关键特点是精度高、精度高。它配备了CCD显微镜工具和自主定位机，允许光刻胶精确对准和定位到基板上。它还具有双重振荡机理，保证均匀的抗性涂层具有一致且可重复的厚度，从而确保高产率并产生均匀的工艺结果。光致抗蚀剂曝光过程采用无掩码曝光工具进行，该工具结合了光学和数字技术，以提供卓越的图像精度和分辨率。该资产还配备了数字曝光模式发生器和快速光纤控制器，可加快曝光时间，提高曝光精度。曝光后烘烤步骤也以高精度和重复性进行。该模型配备了高速烘烤烤箱和先进的控制技术，以确保晶圆的均匀烘烤，从而获得一致和可靠的后烘烤结果。总体而言,DAINIPPON SCW-80A结合了最先进的技术和工艺,为客户的生产线提供可靠和可重复的光刻设备。它保证了在旋转、曝光和烘烤过程中的高精度，从而产生优越的产量和均匀的工艺结果。其先进的自动化功能还可确保缩短过程时间和提高灵活性,从而提高产品质量和提高成本竞争力。