二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A #9269116 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A是一种功能齐全的光刻设备，用于单晶圆光刻。该系统由单级晶片架、晶片定位单元和扫描仪组成。它具有广泛的光刻胶选项，允许它用于各种蚀刻应用。该机器使用标准的光掩蔽和图样设计方法，以及高达100mW的光源，在晶片表面上绘制抗蚀剂的图样。该工具具有8英寸的晶圆容量，带有可调晶圆板以容纳不同的晶圆尺寸。晶圆座的运动范围可达80度，使晶圆在曝光时能够精确定位。DNS SC-W80A配备了多轴扫描资产，可提供1.2um分辨率、高达30mm/sec扫描速度和1 μ m可重复精度。此外，该模型能够同时扫描四种不同的模式，这些模式可以在软件中进行预设。这样可以确保快速高效地生成高精度的模式。该设备还提供完全自动化,便于操作.自动输入过程使用触摸面板控制系统和条形码标签，确保所有所需材料快速加载。此外,该单元还提供了一个直观的用户界面,可用于自定义设置和控制晶圆进程。最后,DAINIPPON SCW-80A包括一系列高级功能,以确保获得最高质量的结果。其中包括一台压力控制机，以保持准确的零点暴露水平；自动曝光校准；暗场和暗纹校正；以及自动工具检测和清洁功能。这些特性是这款高性能光刻胶工具的标志，一次又一次地提供可靠一致的结果。