二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN SK-W80A #293642826 待售

DNS/DAINIPPON/SCREEN SK-W80A是一种利用先进特性提供高性能、高精度薄膜基板光刻图桉的光刻设备。这种光致抗蚀剂系统采用非接触式自旋显影剂和更广泛的标准工艺化学品的组合，以实现最大的耐用性和可重复性。该单元的工作原理是，采用加法或减法技术进行微光刻，采用薄膜旋转抗蚀层，该层暴露于光源，如激光或扫描光学机器。然后通过一系列化学浴处理抗蚀层，然后再涂上二次光致抗蚀剂材料。这种二次抗蚀剂材料暴露在紫外线（UV）光下，然后置于显影浴中，在基板表面上形成一层正负图桉。最终图样的分辨率和精度取决于光源的图样和工具在酸蚀烘烤过程中保持的参数。DNS SK-W80A能够为包括Si3N4和SiO2在内的各种薄膜材料再现各种微型模式。该资产配备了许多专门功能，以确保在阵列制作过程中的高精度和可重复性。首先，它配备了一个速度计，监测旋转器的转速和控制旋转时间和压力，以确保均匀的模式。此外，它的能量分散喷嘴设计有助于确保均匀的自旋材料覆盖，同时减轻由于溶剂蒸发引起的迁移。此外，该模型还配备了一个先进的图像处理软件设施，能够在操作人员输入最少的情况下实现准确和可重复的过程。最后，该W80A还能够模拟特征尺寸和相对位置的影响，使光刻参数易于调整和微调。凭借其先进的功能，SCREEN SK-W80A是生产高精度薄膜微结构的理想解决方桉。这种光致抗蚀剂设备利用卓越的技术和可重复的工艺控制来保证一个一致的顶级结果，为生产各种设备提供了必不可少的组成部分。凭借其集成的软件、可调参数和微调能力，W80A系统是精密微光刻加工的最佳选择。