二手 DNS / DAINIPPON SCW-622-B #9111281 待售

DNS/DAINIPPON SCW-622-B是一种用于电子半导体加工中的掩模对准光刻应用的光刻系统。设备包括计算机控制的晶片级、数字成像系统，以及用于掩模预对准和微调的对准级。该级采用两轴倾斜和旋转能力设计，可处理直径达200毫米、高度达30毫米的晶片。它还包括用于在晶圆上精确定位掩模组件的精确线性级。数字成像装置包括一个自动对准器和一个摄像机，用于目视检查掩模和晶片之间的对准。机器还包括一个软件控制的覆盖工具，使精确的图像为基础的对齐。该资产配备了高分辨率的电动投影光学头和手动投影光学模型。投影光学元件使蒙版图像能够直接投影到晶片上,从而保持接触蒙版图桉的大小和形状。该对准装置具有激光定位器和预对准的微米分辨率光学激光器，以及用于微调掩模配准的亚微米激光传感器。该设备配置用于通过百叶窗打开/关闭掩模腔和晶片进行机器人加载。该系统能够在低温下运行，包括一个用于处理项目光学器件下游晶片的内置真空装置。DNS SCW-622-B光刻机非常适合用于半导体IC制造，包括细线阵列和驱动电路。该工具也适用于液晶平板显示器的生产。此外，该资产能够处理各种抗蚀剂和暴露温度。这允许应用程序,如厚薄膜阵列、凹凸模板和其他需要极高精度和精确度的复杂布局模式。