二手 DNS / DAINIPPON SCW-636-BV #9226344 待售

DNS / DAINIPPON SCW-636-BV
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SCW-636-BV
ID: 9226344
晶圆大小: 5"
优质的: 1988
Coater, 5" 1988 vintage.
DNS/DAINIPPON SCW-636-BV是用于制造集成电路的半导体晶片光刻的最先进的光刻设备。该系统基于6英寸(150毫米)卡带到卡带的大型传输。它具有每小时46个晶圆的吞吐量,为集成电路的制造提供了极好的生产产量。该装置操作多区温度控制机,确保在一定温度范围内均匀处理,以获得对成像参数的精确控制。该工具还设计为使用大阵列的透镜,以便为不同的瓦特和波长提供优化的性能,使其在应用上非常灵活。资产采用风冷方式,在真空环境中运行,提供卓越的抗粘性和蚀刻性能。它还有一个高效的输送机模型,旨在清除可能影响集成电路制造的颗粒和污染物。该SCW-636是半导体晶片光刻和成像的一种非常可靠和经济高效的解决方桉。它是完全自动化的,可以通过内置GUI接口轻松配置。这使得在为不同的光刻应用定制工艺配方时能够最大程度地方便和灵活。该设备还包括一个高速激光对准系统,自动校准面罩对准晶圆表面。这样可以确保产生正确的光刻图像并提高工艺产量。此外,该设备还提供了一系列输入和输出端口,能够与生产线的其余部分进行简单而安全的通信。所有这些特性使得DNS SCW-636-BV中大规模集成电路生产的理想选择。该机器效率高,能够提供极其精确的图像和可重复的结果。这使得它成为任何光刻项目的经济高效且高度可靠的解决方桉。
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