二手 DNS / DAINIPPON SD-200W-AVPE #9157629 待售

DNS/DAINIPPON SD-200W-AVPE光刻设备是一种功能强大、用途广泛的开发系统,为各种光刻应用提供先进的技术和最高的性能。它利用防腐涂层，暴露和开发过程具有很高的精度和可重复性。该装置非常适合半导体和HDI/微电子器件的制造。该光刻机由一个多瓣旋转狭缝喷嘴沉积头组成，允许在抗蚀剂的应用中具有更高的均匀性，一个冷却的双光束电动X-Y级，以及一个自动化的工艺序列单元。多瓣旋转狭缝喷嘴沉积头可提供精确、可重复的防腐涂层性能，具有易于调整的微调工艺能力。它配备了三个独立控制的抵抗喷嘴，能够在不同浓度水平下提供抵抗，使工具能够以更高的精度执行抵抗模式。冷却的双梁电动X-Y级设计为晶片样品在抗蚀剂处理过程中提供平滑、无振动的定位，包括一个大的分柱平台，方便安装多个晶片载体。机动阶段允许精确的样本移动，以确保在整个运行过程中准确和一致的抵抗模式。自动化过程序列单元负责控制整个过程，从缩放图像的大小到晶圆样本的记录测试。它还存储每个示例运行中的数据,并允许自动比较结果。使用此设备,工程师可以随时间优化资产性能并提高产量。总体而言，DNS SD-200W-AVPE光刻胶模型为各种光刻胶应用提供了先进的技术和高性能，提供了准确、可重复、可靠的抗蚀剂处理。该设备从多叶旋转狭缝喷嘴沉积头到自动化工艺序列单元，提供了一套全面的特点，成为半导体和HDI/微电子器件制造的理想选择。