二手 DNS / DAINIPPON SD-80BW-AVP #9408271 待售

ID: 9408271
优质的: 1996
Coater system 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVP是一种光刻设备,专为开发极其精细的图样打印应用而设计。它是一个可靠、准确的系统,具有前所未有的分辨率、准确性和速度。该单元是一个自动化单元,可用于光刻、基板沉积和接触印刷等工艺。DNS SD-80BW-AVP的主要组成部分是具有先进焦平面阵列(FPA)的视觉模块,它能够以0.15微米分辨率的比例捕获图样图像。此模块能够将图样的数字图像转换为光学分离的抗蚀剂涂层。利用包括横截面分析仪和对准标记机构在内的分割场双光束光学机器,进一步提高了光学分辨率。该单元还配备了数字数据采集和处理模块,有助于控制不同的曝光参数。DAINIPPON SD-80BW-AVP旨在立即响应模式或曝光参数的变化。它带有一个预校准模块,负责根据给定的模式设置曝光参数。芯片定位和对准是借助独特的对准和标记模块完成的,该模块提供0.15微米的高分辨率。光刻工艺产生耐用的干燥膜,可用于包括AlSiC、有机和无机膜在内的一系列先进基材。该工具的显着特点是其驱动大面积基板的能力以及多模式模式暴露的可能性。该单元还能够生产具有光纤曝光模块的亚微米均匀抗蚀线。SD-80BW-AVP具有自动化基板传输资产的高速滚转生产能力,还配备了功率分析模型,可快速识别错误并进行校正以确保高产量。适用于口罩、滤镜、液晶屏幕等设备的生产,专为大批量生产而设计。DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVP是一种高效、可靠、精确的光刻设备,具有出色的打印分辨率。它专为各种基材和工艺而设计,能够生产具有广泛曝光参数的高质量印刷品。该单元适用于自动化生产,以及驱动多模式曝光的大型基板。该单元非常精确、经济高效、用户友好,非常适合在各种行业中使用。
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