二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVN #9148335 待售

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVN是一种光致抗蚀剂设备，设计用于处理聚合物薄膜和产生微结构。该系统是为光刻工艺设计的，以便将图样转移到光刻材料上，然后将其用于在基板表面上创建微结构。该单元有一个集成的用于分配和开发聚合物的自旋涂层模块，使得能够生产厚度在50 nm至1000 µm之间的薄膜。自旋涂层与DNS SD-W60A-AVN的高速精密运动机构相结合，保证了图样向基板的精确传递。该机利用半自动化机制精确控制曝光和开发过程。用户可以选择曝光参数来优化模式形成的速度、分辨率和清晰度。该工具装有一个四轴运动控制单元，以确保最小临界尺寸为1 µm，即使对于细结构也是如此。DAINIPPON SD-W60A-AVN采用干膜装置设计，用于光刻涂层工艺。该单元由预保湿、干燥、烘烤模块组成，可实现一致可靠的涂层效果。此外，该资产还配备了综合检查模式，用于监测过程和确保高质量的结果。该设备还提供了自动装载机和卸载机，用于应用和拆卸基板。这可以通过减少处理基板所需的时间来提高吞吐量。在安全方面，系统包括防静电设计，防止静电损坏，确保过程稳定。SD-W60A-AVN是聚合物薄膜光掩模设计和生产的有效、可靠的设备。该机以其高精度和高通量，在半导体和光掩模工业中被广泛应用于生产各种微结构。