二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235504 待售

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP
ID: 9235504
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Developer system, 6" 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP是一种光刻工艺设备,使用户能够创建具有精确控制的光机械设备。它有一个先进的沉积室,有多组光掩蔽,这使得非常精确的打印开发和图样的精确转移到基板上。该系统有两个独立和独立的沉积室:一个用于液体,一个用于固体光致抗蚀剂。这提供了许多优点,包括能够迅速改变接触条件,而不会对腔室之间的物质造成任何交叉污染。光致抗蚀剂工艺单元还配备了高分辨率显微镜,允许用户根据需要精确监控不同的工艺参数和调整沉积参数。此外,该机还包括一系列先进的数字控制器和接口,便于精确操作,使模式控制更加高效。集成光学显微镜为湿法和干法提供了卓越的成像效果,分辨率为0.25微米。它提供实时的流程监控功能,能够快速测量和控制流程参数。内置曝光板由具有高透射和反射质量的石英玻璃制成,提供精确控制光强度和方向的能力。它还具有广泛的位置,以适应不同的掩模尺寸和基材厚度。该工具配有自动喷膜器,可编程为有选择地、准确地将光敏胶片涂在基板上。这些薄膜可以用来创造众多的光机械特性,如各种细线和空间模式的电中性器件过程控制。DNS SD-W60A-AVP提供了广泛的控制功能,允许用户立即为每个作业轻松选择最合适的流程设置和参数。用户还可以存储自己喜欢的设置以供将来使用,从而提高生产效率。总体而言,DAINIPPON SDW-60A-AVP光刻胶资产是创建精确光机设备的先进且通用的模型。
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