二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235505 待售

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP
ID: 9235505
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Developer system, 6" 1995 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP是设计用于半导体生产的光敏设备。它是一个自动化的开发系统,旨在使处理速度更快、更简单。该单元能够进行全速率批处理操作,并且能够进行标准周期和自定义周期。它由两个主要部分组成:主机和晶圆架.主要工具包括光敏预处理室、开发室、冲洗室、资产界面和控制面板、PC控制器和可选升级,如干燥模型、自动化化学管理设备和设计软件。该室配有光刻胶喷雾器和泵,用于喷雾和均匀分配光刻胶液体。显影室是光致抗蚀剂进行化学处理的地方。冲洗室用于减少残留的光致抗蚀剂和其他有害物质。系统界面和控制面板为用户提供了调整流程参数的能力,并将所有流程置于自动模式。PC控制器是与其他组件协同工作以提供过程控制、调度和分析的计算机。晶片支架是允许用户在晶片上将光刻胶液体精确对准所需图样的组件。它由一个精密的持有人头和一个晶圆级组成。持有人头部装有传感器和执行器,允许用户快速准确地调整晶圆对准,以进行多次进程运行。另外,晶片级还配备了平面调整器和温度控制装置.DNS SD-W60A-AVP光刻装置非常适合那些需要可靠、自动化的过程并且需要从PC控制机器的方便的用户。晶片持有者的高精度和可调参数使其成为各批次实现高产效果的绝佳选择。
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