二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9275258 待售

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE
ID: 9275258
晶圆大小: 6"
System, 6".
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE是为满足现代半导体加工需求而设计的最先进的光刻设备。该系统能够对晶片表面的薄膜层进行高精度对准和曝光,从而能够制造复杂的集成电路和IC组件,并实现先进的多层封装。DNS SD-W60A-AVPE具有高分辨率、四孔头对准单元,能够在大型工件上实现亚微米连续对准精度。四袋头机还可以准确曝光自上而下和侧面的图桉。该工具包含一个opto机制,可确保高精度和可重复性,即使在处理复杂模式时也是如此。DAINIPPON SD-W60A-AVPE利用了所谓的全视场对准摄像头,它提供了优于其他对准系统的性能。此相机使资产能够在晶片上完美对齐图桉化的图层,即使图层的大小或材料不同。此外,该型号还配备了环保高效的水冷设备,确保IC晶片在整个暴露过程中保持在稳定的温度范围内。SD-W60A-AVPE的主要特点是其高度精确的自动化光刻系统(APRS)。APRS包含两个集成部分-一个可编程曝光工具和一个创新的沉积工具。可编程曝光工具使用户能够在晶圆表面上快速准确地创建复杂的图样,从而无需手动对准或定位。沉积工具可确保单层光刻胶在晶片表面的均匀沉积,从而实现特征和薄膜层的选择性涂层等应用。此外,DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE支持多种光致抗蚀剂材料,包括非环氧树脂材料,这为用户选择最适合其具体应用的材料提供了灵活性。该装置还设有一个集成的清洁机,可清除两次曝光之间的残留材料,并便于准确控制沉积的光刻胶层的厚度。当需要精确的过程控制和可重复性时,这种控制尤为重要。总体而言,DNS SD-W60A-AVPE是一种创新的光刻工具,能够对晶片表面的薄膜层进行高精度对准和曝光。该资产的精确度和可重复性使其适用于芯片和封装的设计和制造。其自动化的光刻胶模型、全视场对准摄像机和冷却设备保证了每一个周期都具有令人印象深刻的精确度。因此,DAINIPPON SD-W60A-AVPE对于那些在其半导体制造应用中需要高精度光敏处理的人来说是一个极好的选择。
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