二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A #293821621 待售

DNS/DAINIPPON SD-W60A是为高生产率晶圆加工而设计的光刻设备。它提供了一种快速可靠的方式来在框架上涂覆和暴露设备,特别是用于生产平板显示器（FPD）。该系统配备了用于液态光刻胶应用的先进高精度分配器，以及内置的干燥机构，以确保抗蚀剂在暴露前均匀干燥。DNS SD-W60A使用高级掩码对齐模块,该模块提供自动对齐、精确曝光以及简单直观的操作。它还具有一个新的光学单元，它利用一个球形透镜和两个光学传感器来精确对准掩模图样相对于底层基板。该机器能够精确放置图桉,分辨率可降至50 um。高级对齐模块允许用户快速注册帧以确保精确的结果。此外,DAINIPPON SD-W60A的自动曝光过程提供了对FPD和TFT帧的轻松、可重复和精确的曝光控制。此外，它还具有高速的四级曝光功能，可确保抗蚀剂的均匀曝光。该工具还配备了精密的清洁技术和特殊的清洗室，大大减少了循环时间所需的时间。最后,SD-W60A的集成工程软件允许用户创建复杂的掩码,并使用易于使用的界面管理曝光数据。业务智能和高级分析工具使工程师能够优化流程并准确监控生产性能。总体而言,DNS/DAINIPPON SD-W60A光刻胶资产为高生产率晶圆处理提供了经济高效且可靠的解决方桉,提供了先进的掩模对准模块、自动曝光过程、先进的清洁技术和集成的工程软件。该模型被证明是确保FPD和TFT框架上设备均匀、一致涂层和曝光的有力工具。