二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A #9068908 待售

DNS / DAINIPPON SD-W60A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SD-W60A
ID: 9068908
晶圆大小: 6"
Developer, 6".
DNS/DAINIPPON SD-W60A是一种用于优化光刻工艺的高精度、高性能光刻设备。该系统采用了独特创新的自动层重映射技术,加上尖端的自动晶圆对准单元。这使得机器能够适应最复杂的光刻结构,同时保持极高的工艺精度。工具本身由一系列元件组成,包括主CDM-4000A曝光控制单元、DVT-4050镜头单元、LWV-6050镜头对准单元、XSM-6050线性步进电机和DLT-6500曝光控制单元。资产还利用由高分辨率相机和CCD组成的先进的曝光前成像模型。每个组件在集成光刻设备中都起着关键作用。主CDM-4000A提供了一个高级光阻控制单元,具有阵列对齐、图层选择和优化的功能。该DVT-4050专为控制曝光和步进电机运动而设计。它还包括对准、聚焦和曝光率的自动校正。LWV-6050透镜对准系统提供了曝光晶片的最佳对准。XSM-6050电动机以最小8微米的间距扫描晶片,可以调整以加速曝光过程。DLT-6500进行单色或彩色涂层沉积。DNS SD-W60A单元提供的工程解决方桉能够生产各种原型和批量生产的光刻元件。其应用在精密平板显示器、微机电系统、有机发光二极管显示器、全息数据存储元件的制造中尤为有利。该机还用于生产纤细钻头、尖端等微机加工元件。与传统的光刻工艺相比,DAINIPPON SD-W60A工具还具有许多优点。它的速度和整个资产可以通过单个图形用户界面进行控制的事实提供了改进的工作流监控,而自动层重新映射功能则提供了改进的阵列精度和可重复性。此外,该模型与几种常用的曝光材料兼容,包括紫外线光刻胶和光聚合物。总体而言,SD-W60A是面向需求苛刻用户的高端光刻设备。它提供了精确度、速度和优化处理解决方桉的组合,使批量生产具有更高的效率。该系统先进的对齐和成像技术可改进工作流管理,提高阵列的准确性和可重复性,并缩短曝光时间。适用于广泛的应用,为光刻任务提供了绝佳的平台。
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