二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-A #9274821 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SD-W80A-A
ID: 9274821
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Coater system, 8" 1999 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-A是用于光刻工艺的光刻设备。它设计得非常精确,能够创建具有高分辨率的3D组件。该系统与许多抗蚀剂类型兼容,并带有许多功能,使其适合各种应用。它有一个高分辨率的光学单元,由透镜组和折光机组成,可以精确定位和成像光刻胶到基板上。该工具还使用微阀调节光刻胶的流动,而数字伺服控制资产则确保了曝光时基板的精确位移。此外,基板的位置以及镜头组的运动由线扫描CCD相机和X-Y级监控。DNS SD-W80A-A可以使用多种光刻胶供应系统,如墨盒、DIAS和CDM技术。它还具有独特的"Close-Loop"模型,用于控制基板温度和光刻胶的数量。这有助于控制整个光致抗蚀剂过程中的暴露剂量,确保一致和准确的结果。光敏设备具有集成的激光曝光机制。这允许产生精确的图桉结构,如线条和孔,也有助于优化整体分辨率。此外,该系统提供无掩码的直接写入,也可用于具有较大抵抗面积的晶圆投影。DAINIPPON SDW-80A-A还提供了易于使用的图形用户界面。这允许用户轻松控制进程,快速设置实验,并使用晶圆视图窗口修改参数。这有助于最大限度地提高流程的生产效率和准确性。总体而言,SD-W80A-A是一种先进的光刻装置,具有许多优化光刻工艺的特点.该机器坚固而精确,非常适合各种光刻应用。
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