二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AV #293643053 待售

DNS / DAINIPPON SD-W80A-AV
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SD-W80A-AV
ID: 293643053
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Spin developer system, 8" 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AV是一种先进的光刻设备,专为集成电路生产的高效和清洁而设计。其高效、精确的控制使复杂结构的生产达到微米尺度,产量高。该系统配备了一个高精度扫描椭圆偏振仪,以指定的入射角测量光强度,从而能够精确控制曝光光强度。椭圆偏光计提供了广泛的设置,如设定光强度、波长、白色光子尺度、排序、光束成形和偏振,允许根据复杂设计的需要进行精确曝光。该装置还配备了一个干燥烤箱,可以对其进行编程,使暴露的晶片达到干燥压榨过程所需的温度和湿度。这确保了光刻胶更均匀的沉积,避免了气泡和瑕疵。为了最大限度地减少污染,该机器配备了闭环微流控制工具,可编程为以气压、气流和氧气作为加热介质进行精确控制。这有助于避免有害粒子进入腔室和进入光致抗蚀剂,也可用于选择性电沉积。资产的软件包括图像分析和模拟功能,包括带有图形用户界面的光扫描模块。这使得验证和校正掩码比以往任何时候都更容易、更快。该模型还具有强大的数据通信接口,可与您的其他系统链接,从而允许光刻设备和主机之间快速轻松地传输数据。简而言之,DNS SD-W80A-AV是一种具有精确控制和监控能力的多价光刻胶系统。其高效的操作和强大的工具使其成为现代集成电路生产的绝佳选择。
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