二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293705458 待售
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DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP是为晶圆加工而设计的高速光刻涂层设备。该系统能够在单层中涂层从0.1µm厚到3mm，在两层光刻胶中涂层到4.0mm。这使得该单元适用于半导体器件制造、传感器、MEMS器件等广泛的应用。该机由模块化机械框架、光刻机、高精度喷嘴、多轴伺服控制转盘、控制系统和晶片架组成。机械框架可确保大面积的高精度,转盘可移动晶片支架,从而实现任何方向的精确涂层运动。此外,该控制工具还通过各种分辨率提供精确且可重复的多轴运动,从而实现了精确的涂层控制。光刻胶分发器基于链条和气动资产运行，可以同时向喷嘴中注入多种光刻胶，允许多层。这有助于提高涂层工艺的速度,同时最大限度地减少浪费。分发器还可容纳多达八个光刻胶罐，以便在应用程序之间进行快速和轻松的更改。精密喷嘴的设计可提供一致的覆盖范围、最小的缺陷和出色的整个晶圆层均匀性。它还旨在确保低湍流，这有助于防止特征缺陷和光声发射。喷嘴高度可调，可用于设置多种涂层参数，包括图样和光刻胶粘度。DNS SDW-80A-AVP是一种可靠高效的光刻涂层模型，适用于广泛的晶圆制造应用。该设备性能优异,能够在短时间内提供可重复的高质量结果。该系统具有高速度、精确度和多功能性,是任何晶圆处理需求的绝佳选择。
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