二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293760414 待售

ID: 293760414
晶圆大小: 8"
(2) Developer system, 8".
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP是一种光阻设备,能够处理高分辨率光阻制图任务。它是一个多功能系统,包括曝光、曝光后烘烤(PEB),以及应用曝光后烘烤(PEC)来创建或细化模式。DNS SDW-80A-AVP是一种多用途的光刻装置,允许对阵列制作过程进行特殊控制。它具有高重复率和高光束功率的固态激光器,使高分辨率的图样具有准确性和可重复性。该机还具有用于精确曝光控制的高性能低压曝光监控器和用于曝光后烘烤(PEC)工艺的可编程控制器。它能够处理各种光敏材料和基材。可用的工艺气体溷合物可以调整以控制暴露过程中的温度和压力,使工具能够处理广泛的抗蚀剂类型、基板和特征尺寸。资产还具有一个集成的冷却单元,确保在暴露过程中对敏感的抗蚀剂材料进行有效的热管理。DAINIPPON SD W80A AVP允许精确的暴露控制,并对剂量进行高度控制。这样就可以创建小的光刻胶线条和其他形状,分辨率非常好。暴露监测仪可以精确控制剂量,即使在较低剂量下也是如此,而PEC工艺的集成可以实现高效、高产的模式性能。此模型的操作简单直观,非常适合原型设计任务和生产运行。内置液晶显示屏允许对曝光过程设置进行视觉反馈,包括激光和气体溷合参数、基板尺寸和方向,以及曝光前和曝光后过程的曝光时间。DNS/DAINIPPON SD W80A AVP是一种坚固、经济高效的光阻设备,可确保卓越的阵列性能和产量,满足最苛刻的生产要求。它的多功能性、精确的控制和可靠的操作使其成为任何光刻胶图桉应用的绝佳选择。
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