二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9227389 待售

DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ
ID: 9227389
晶圆大小: 8"
Polyimide developper, 8".
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ是一种专为半导体制造业先进光刻工艺而设计的专用光刻设备。该系统能够提供光刻胶的精确曝光,从而在VLSI(非常大规模集成)芯片的处理中允许更高的产量。该单元由两个组件组成,即曝光单元和曝光单元控制器。曝光单元由激光二极管阵列组成,能够向晶圆发射均匀的单色光束。此光再由声光调制器调制,由使用者控制,使光束成形以进行更高分辨率的成像。其中还包括一个上下表、一个测量干涉仪和一个聚焦透镜。Exposure Unit Controller使用操作员界面面板控制Exposure Unit,还包括一台嵌入式微型计算机和一个独立处理器,用于管理Exposure Unit的参数。DNS SD W80A AVQ机具有几项先进的功能,可提高光刻胶成像过程的准确性和可重复性。它包含了多种增强图像处理能力的图像处理工具算法,包括焦点检测、边缘模式识别算法和降噪算法。此外,还可以与资产一起使用一系列自定义滤镜和掩码来优化曝光模式,以优化光刻胶的性能。该模型还具有自动聚焦功能,可实现尽可能清晰的成像分辨率。此功能允许在扫描操作期间快速、精确地校正曝光设置,以进一步提高分辨率。此外,该设备采用先进的热稳定性技术进行设计,确保激光二极管阵列在曝光期间不会发生任何明显的温度变化。最后,DAINIPPON SDW-80A-AVQ具有多种流程控制选项,共有八种不同的参数设置。这为用户提供了对光刻工艺许多方面的灵活控制,从而允许使用该系统执行各种材料和工艺。总体而言,DNS SDW-80A-AVQ是为半导体制造工艺设计的先进光刻装置。它提供了卓越的成像精度和分辨率,以及用于优化过程控制的高级功能。它具有高分辨率成像光束图样的成形能力、增强的图像处理算法以及广泛的过程控制设置,是寻求光刻胶精密成像的理想机器。
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