二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9274815 待售

ID: 9274815
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Coater system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ是一种光刻设备,专为开发高精度的精密图案曲面而设计。该系统以直接成像工艺为基础,使用光敏化合物,称为光致抗蚀剂,以便在基板上创建所需的图样。该单元由一个LED曝光单元、一个用于保存样品的真空卡盘和一个控制单元组成。LED曝光单元由一个LED阵列组成,该LED阵列的最大输出4800mW与镜头机耦合。该工具采用高分辨率、高功率阵列和多种电源设置,可精确控制曝光时间。真空卡盘有一个半径为250毫米的扁平底座,这样可以在成像过程中将样品牢固地固定到位。一旦样品到位,控制单元就可以用来设置曝光设置和控制LED阵列的输出。资产中使用的光致抗蚀剂含有一个单体,当暴露于LED发出的光时,会经历光聚过程。这个过程在底物表面形成一个不溶性的聚合物膜,产生所需的图样。该模型为曝光后烘烤提供了广泛的设置,允许精确控制聚合过程。DNS SD W80A AVQ是那些需要创建高精度、精确阵列化曲面的人的理想设备。其高分辨率LED阵列和控制系统使其容易产生准确一致的模式,而其广泛的曝光后Bake设置让用户可以调整光聚合过程。因此,在创建复杂、精细的曲面时,该单元是使用光刻胶的绝佳选择。
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