二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9373065 待售
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DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ是为光刻制图设计的光刻设备。它是光掩模的全场对准系统,由157 nm DUV(深紫外线)激光器组成,能够对多层介电层和导电层进行图样绘制。采用步进电机技术,实现了临界对准和曝光的高精度、高精度。这一单元提供卓越的质量和先进的功能,如先进的激光扫描机,曝光焦点伺服控制工具,真空卡盘和大分辨率的光掩模。该资产能够产生各种模式,如石英/玻璃、银、氧化物和ITO层。它使用短波长157 nm的DUV光源将光掩模直接暴露在晶圆上。这种短波长提供了更高分辨率的基板,用于产生更复杂的遮罩图样。模型有一个真空卡盘,在曝光时保持着光掩模。它使用步进电机技术对卡盘上的光掩模进行精确对准,并将其精确定位以进行曝光。这项技术有助于确保在每个晶片上都能准确放置多个层次的图样,从而产生与生产环境中生产的图样相当的光刻图样。该设备还提供卓越的图像保真度和可重复性。这是通过使用先进的曝光控制系统和聚焦伺服来实现的,这有助于确保曝光在多次曝光时均匀且可重复。DNS SD W80A AVQ是一种可靠而强大的光刻装置,它提供了卓越的精度和精确度,可创建多层次的光刻图桉,并具有更高的保真度和重复性。它非常适合在半导体制图和高级RSFV光刻中的先进光刻应用。
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