二手 DNS / DAINIPPON SDW-636-CV #9068905 待售

DNS / DAINIPPON SDW-636-CV
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SDW-636-CV
ID: 9068905
晶圆大小: 5" to 6"
Coaters / developers, 5"-6".
DNS/DAINIPPON SDW-636-CV是设计用于先进光刻应用的光刻设备。它是溶剂中高分辨率、快干光致抗蚀剂的溶液。它具有高分辨率和优越的轮廓特性,对基材具有良好的附着力.该系统具有较高的光速和较低的吸收率,非常适合较不耗时的图样制作。该单元由一种光敏聚合物组成,当暴露在光下时,它会在基板上蚀刻图样。这台机器有两个组件:光刻胶溶液和显影剂溶液.光致抗蚀剂溶液与溶剂溷合,然后涂在基材上。利用自旋涂层或喷涂涂层将现成的光刻胶溶液涂在基板上。根据要在基板上蚀刻的图样,在基板上使用遮罩来保护基板免受光线照射。涂层后,基板暴露于高强度的光,如来自汞弧灯的光。光致抗蚀剂在暴露于光的地方聚合,从而形成蚀刻面膜。然后将显影剂溶液应用于基板上,以去除在曝光过程中保持透明的光致抗蚀剂,并留下蚀刻图桉。这种基于溶剂的工具的优点是能够在一个步骤中蚀刻复杂形状。DupontDNS化学铸件SDW-636-CV的粘附性能优越,适合在受约束或移动基质中蚀刻小特征。该资产适用于与光刻胶和显影剂溶液兼容的各种材料,如玻璃、硅片、氧化铝和石英。DAINIPPON SDW-636-CV提供了出色的工艺控制,能够在具有相同曝光参数的基板上实现模式的重现性。这使其成为集成电路制造等特征敏感行业的理想选择。总之,SDW-636-CV是先进光刻应用的可靠、通用的解决方桉。具有良好的粘附性能和优异的分辨率和轮廓特性.该模型非常适合对时间敏感的应用程序以及对特征敏感的行业。
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