二手 DNS / DAINIPPON SK-200 #9256669 待售
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DNS/DAINIPPON SK-200光刻设备是一种高性能成像系统，设计用于光掩模和晶圆制造市场。它是一个两步图像传递单元，结合了中和的纯几何光束传递机和用于光刻涂层的气相沉积方法。DNS SK-200的图像传递工具使用了一束中和的强烈紫外线，立即将掩模图桉的原始几何形状传递给晶圆而不会失真。光束传递资产还采用场内和场间控制的方法来实现均匀的图像质量，而不考虑遮罩图桉大小。气相沉积法允许在晶片表面上均匀涂覆光致抗蚀剂，而不会过度或不足暴露。这提供了一个一致的光阻涂层在整个晶片表面，即使是复杂的图桉设计。光致抗蚀剂覆盖的晶片随后被暴露在高强度的紫外线激光束下，并在整个晶片中达到均匀的曝光深度。DAINIPPON SK-200能够实现最高质量图像的亚微米模式精确分辨率,适用于包括多层和光掩模在内的所有基板。它的晶圆尺寸范围从2"到12"，设计用于从实验室到生产设置的各种环境。SK-200是光掩模和晶圆制造的绝佳成像模型。它将中和光束传递与气相沉积法相结合，可确保均匀的图像质量和精确的分辨率。它非常适合实验室和生产应用,并具有便于自动化和最大限度地提高吞吐量的功能。
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