二手 DNS / DAINIPPON SK-200W-AVP #293821343 待售

DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP光刻设备是一种用于半导体制造的切割边缘光刻技术。这种光刻胶系统能够沉积分辨率超过200nm的图像。该设备的曝光场大小为200 x 200mm2,具有可定制的模块化平台,可满足各种生产要求。该机由一个带有外部水箱和泵的供应单元、一个带喷雾器的光刻涂料单元和一个旋转站单元组成。UV照明源使用高端LED进行图像生成。图样特征可以在基板表面上使用特殊光学元件和标线面罩形成。抗蚀剂从LED源暴露在这种图样化的光源中,图样在基板上形成。DNS SK-200W-AVP光致抗蚀剂工具提供厚度在0.2micron到10micron之间的均匀抗蚀剂沉积。该资产还采用免费维护设计,使用时间为30,000分钟。利用一种称为微高级脉冲背景光（Micro Advanced Pulsed Background Light，简称MAPBL）的特性，在阵列制作过程中提供更好的精度和分辨率。该功能使用从单点源发出的低背景光。此MAPBL有助于最小化接近效果,并在各种结构中实现更高的分辨率。该模型还具有先进的流量控制软件，可根据基板尺寸和形状监测和调整喷雾速率。DAINIPPON SK-200W-AVP光致抗蚀剂设备通过其自动清洗和喷雾清洗程序确保光致抗蚀剂的清洁和精确去除和沉积。此外，该系统还配备了液位报警器和泄漏探测器等先进的安全功能，以保护用户和环境。该单元还得到高级分析和实时诊断的支持,以实现可追踪性和更好的产品质量。光刻机具有先进SK-200W-AVP性能,是一种可靠高效的半导体制造设备.