二手 DNS / DAINIPPON SK-200W-AVP #9371671 待售
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ID: 9371671
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
(2) Coater / (2) Developer system, 6"
(4) Open cassette load ports
Main controller
Plate
ADH
(10) HP
(5) CP / 2PCP
IFB
Chemical cabinet
Heater controller
Developer 1 and 2:
Developing nozzle: Spray nozzle
Top rinse: Single nozzle
Coater 1:
(4) PR Nozzles: R1-R4
EBR
Coater 2:
BARC
(3) PR Nozzles: R1-R3
EBR
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP是设计用于半导体制造的最先进的光刻设备。它是一个单面涂层系统，能够分配一层精确的光敏材料，而不需要驻波。该装置能够将薄层的光刻胶分配到亚微米范围内。DNS SK-200W-AVP配备了专门设计的配电机，可以精确控制光敏材料的配电率和配电图。此工具旨在使用剪切、扫描和阵列技术的组合来精确创建所需的结果。该资产能够达到0.01mm以下的精度,并能够分配0.5微米以下的材料。DAINIPPON SK-200W-AVP还利用动态视觉模型进行图像识别。这种设备能够识别各种光刻胶形状和尺寸，并能准确地将光刻胶分配到所需的确切规格。该系统还能够补偿生产过程中可能发生的任何环境变化。SK-200W-AVP还配备了多种先进的安全功能。其中包括：安全保管温度控制、空气过滤和综合安全联锁装置。这种联锁机器在操作过程中提供了操作员和刀具之间的物理屏障。此外，资产还配备了自动模型关闭功能，可确保无需额外干预即可处理和避免任何潜在危险情况。最后,DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP非常方便用户。直观、基于触摸面板的控制界面允许用户快速访问所需的功能或设置。此外，校准设置可以很容易地针对每一个病例进行调整和确认，从而使结果更加一致。总体而言,DNS SK-200W-AVP是一种高度先进的光刻设备,旨在在各种不同的应用中提供卓越的效果。其精密控制系统、动态视觉单元和用户友好的设计使其成为任意数量的半导体制造工艺的理想选择。
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