二手 DNS / DAINIPPON SK-200W #9253733 待售
网址复制成功!
ID: 9253733
晶圆大小: 8"
Coater / Developer system, 8"
Coater and developer module
I/O Module with (4) carriers
Cool and hotplates
HH Plate: up to 350°C
(4) Photoresist pumps
(2) Developer lines.
DNS/DAINIPPON SK-200W是一种光阻设备,旨在提高半导体晶片制造的工艺效率和均匀性。该系统主要用于半导体生产环境中的光阻膜的自旋涂层和烘烤。DNS SK-200W利用强大的旋转喷头均匀地涂覆薄层光刻材料的晶片。旋转涂层后,将晶片放入高温红外烤箱中固化。烤箱包括特殊的紫外线(UV)灯清洗站,以确保薄膜无尘。DAINIPPON SK 200W采用独特的陶瓷加热器技术,在整个纺纱和烘烤过程中确保统一的加热和精确的温度控制。烤箱的温度范围在100°C-250°C之间,公差± 2°C。此外,DNS/DAINIPPON SK 200W还有一个控制单元,可自动监控纺纱和烘烤过程中的污染程度。这台机器允许操作员确定何时需要更换光阻胶片。DAINIPPON SK-200W易于使用,并且需要最少的维护。它配备了彩色触摸屏液晶显示屏,提供直观菜单和当前操作状态的视觉表示。SK 200W还具有自动校准功能,包括各种数据记录功能,便于现场分析。总体而言,SK-200W是一种功能强大、高度可靠的半导体工业光刻工具。它采用先进的技术进行设计,以最大限度地提高效率,并在整个过程中提供一致性。其用户友好的触摸屏界面以及自动校准和污染检测功能有助于简化生产,同时确保获得最佳效果。
还没有评论