二手 DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP #195914 待售

DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SK-60A-BVP
ID: 195914
Coater / Developer System.
DNS/DAINIPPON SK-60A-BVP光刻设备是为大容量处理能力而设计的先进光刻系统。它是一种单晶片工具,能够处理石英、硅、玻璃等一系列基材。该装置采用高度复杂的PECVD(等离子体增强型化学气相沉积)工艺和双曝光技术。双曝光法允许以不同角度同时曝光两个不同的光刻胶层。这使得效率提高,蚀刻特性更加均匀。DNS SK-60A-BVP利用磁悬浮旋转器和自动装载器改进基板控制。它采用高性能、100kHz的激光束,以提高成像和书写的精度。该机器利用各种先进的成像光学器件,最大光子曝光能量可达600W。它的腔室利用无压环境和单独的工具来冷却腔室和基板。DAINIPPON SK-60A-BVP具有可变可编程快门优化功能,可实现精确的蚀刻模式并提高吞吐量。它还能够产生多种特性,包括接触和非接触孔图样、角光刻和曝光校正。该资产还具有先进的热点检测模型,使其能够检测光刻胶中的缺陷区域,从而提高产量,减少缺陷。此外,该设备还配备了先进的伺服控制系统,以提高精确度而不是多重曝光过程,并允许实施复杂的几何形状。SK-60A-BVP是一个高度用户友好的单元,具有直观的GUI和易于使用的软件。其内置的安全功能有助于确保人员和设备的保护。它是多种行业的理想解决方桉,包括半导体、医疗设备、印刷电路板和MEMS技术。高速度、高精度、高精度,是高容量应用的绝佳选择.
还没有评论