二手 DNS / DAINIPPON SK-80A #293636205 待售

DNS / DAINIPPON SK-80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SK-80A
ID: 293636205
晶圆大小: 8"
(2) Coater / Developer systems, 8".
DNS/DAINIPPON SK-80A是一种最先进的光刻胶设备,旨在提供光刻胶和垫片材料的精确曝光。该系统具有稳定的数字扫描机制和石英微米的精确复制功能,即使在最薄的基板上也是如此。该单元可用于曝光0.5至600 µm的光刻胶和间隔材料。集成的高分辨率数字扫描可补偿由于基板扭曲或地形变化而产生的任何潜在暴露缺陷。该机配备了65英寸的显示器和直观的用户界面,具有可自定义的菜单和曝光设置。显示器的预览功能允许实时监控曝光时间和强度,从而实现快速轻松的调整。此外,该工具能够暴露有或没有预敏的基板。与标准系统相比,DNS SK-80A的曝光周期时间短得多,从而缩短了生产时间,提高了吞吐量。DAINIPPON SK 80A还具有自动基板加载资产,具有遥控器和可编程重复曝光功能。该模型的真空输送机设计还允许自动对基板进行毛毯到毛毯的清洗,从而消除任何潜在的污染。曝光板具有调节基板温度和控制曝光材料介电常数的受控温度范围。DAINIPPON SK-80A被证明能够在整个暴露区域提供卓越的均匀性和准确性;这对于具有倾斜度或地形问题的薄基板和/或大基板特别重要。此外,设备内置了曝光头的校准,确保了一系列可编程曝光设置。紫外线辐射安全功能包括自动关闭和互锁,防止过热和潜在的过度暴露于紫外线辐射。DNS SK 80A是光刻、溅射膜修复、抗蚀剂和间隔层应用以及电子束抗蚀剂的完美集成系统。该设备具有卓越的曝光精度、快速曝光周期时间、自动清洗和可编程设置,所有这些都使DNS/DAINIPPON SK 80A一台适用于各种光刻胶应用的理想机器。
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