二手 DNS / DAINIPPON SK-80B #293609331 待售

DNS / DAINIPPON SK-80B
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SK-80B
ID: 293609331
晶圆大小: 8"
(2) Coater / (3) Developer, 8".
DNS/DAINIPPON SK-80B是一种专为半导体工业而设计的光阻设备。光致抗蚀剂是一种光敏涂层,用于将电路图样传递到硅片上。DNS SK-80B用于将光刻胶涂层涂在晶片上,也用于进一步加工。DAINIPPON SK 80B是用一个特殊的蒸汽涂层室建造的,该室覆盖晶圆,厚度可达0.2um。它是由先进的化学气相沉积(CVD)室系统构成的,该系统为晶片或单个组件提供均匀的涂层。CVD腔室采用多种特殊模块分层,优化了光刻膜的尺寸、形状和质量。在涂层过程之后,DNS/DAINIPPON SK 80B单元还包括一个精密光曝光机(LEM),可以调节传递到晶圆或单个元件的紫外线的剂量。SK 80B还利用了一个两阶段的开发过程,在保留暴露的抗蚀剂模式的同时,有选择地去除光刻胶薄膜。初级发育阶段将光致抗蚀剂从暴露的表面溶解,而次级阶段则将剩余的抗蚀剂从未暴露的表面轻轻精确地去除。针对每个应用程序对此过程进行仔细监控和调整,以确保在生产过程的每个步骤中都能获得最佳结果。DAINIPPON SK-80B是一种有效、可靠的半导体工业光敏应用机器。其精密的蒸气涂层工具和两步开发过程保证了每个应用中的均匀、准确的结果,确保最终产品的质量最高。凭借其可靠准确的性能,DNS SK 80B可以帮助任何半导体开发过程充分发挥潜力。
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