二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #293807995 待售
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是为半导体器件阵列设计的光刻设备。它被开发为下一代干蚀刻工具，以显着降低设备制造成本。在过程中，光致抗蚀剂材料暴露于电子束或光子中，图样随后在抗蚀剂材料中发展，从而在材料中形成图样。DNS SK-80BW-AVPE系统由光刻应用模块和蚀刻工艺模块两个主要组成部分组成。光刻胶应用模块包括两个主要组件：光刻胶乳剂和应用臂.光致抗蚀剂乳液通过应用臂散布在器件表面.蚀刻工艺模块由蚀刻室和蚀刻电极两个主要组件组成。蚀刻室在器件表面施加高压，导致等离子体形成，并与抗蚀剂材料反应产生图样。与传统的蚀刻工艺相比,DAINIPPON SK 80BW AVPE具有几个优势：显着降低了材料沉积深度,缩短了加工时间,改进了阵列质量,并大大降低了成本。此外，该装置还配备了自动消除协议和蚀刻工艺紧急关闭等综合安全功能。此外,该机器的设计非常精确,并且具有降低设备制造成本的大容量。最后,该工具能够同时使用50 nm以下和100 nm以下的功能大小,从而提高了设备的复杂性和性能。DNS SK 80BW AVPE是一种通用、有效的半导体器件应用解决方桉。它提供了显着的成本节约和性能改进,同时提供了安全性和准确性。
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