二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298990 待售

DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE
ID: 9298990
晶圆大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是一种用于先进半导体制造的湿加工光刻设备,设计用于在晶圆光刻等应用中提供最高的速度、精度和精度。该系统由三个主要组件组成:主单元(包括曝光头)、控制柜和配电控制箱。主机有助于准确、精确地控制曝光过程,而控制柜和配电控制箱则有助于保护机组免受电源干扰。曝光头是一个组合光源和狭缝面罩组件,由内部灯壳、狭缝面罩、板载狭缝对准和配准机构以及电源和灯控制机组成。该工具还包括冷却资产,以防止可能影响暴露过程的任何热梯度。狭缝面罩设计为易于更换,允许不同的光模式用于不同的应用。还提供外部计算机连接,使用户能够针对不同的晶圆大小和曝光对模型进行编程。用于控制设备的软件允许精确控制曝光时间和能量水平等曝光参数。DNS SK-80BW-AVPE光刻胶系统具有高精度精度,其专有的狭缝掩模设计提供高分辨率图像,提高了光学清晰度。该单元还设计用于数据分析,可从单个光刻胶应用程序获得多达64个数据点。该机器既坚固又可靠,能够提供精确和可重复的结果。此外,该工具完全可配置,能够改变曝光设置,以适应不同的晶圆大小和厚度。这使得它非常适合各种光刻过程,特别是那些需要极高精度和精确度的过程。
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