二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298991 待售
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE(先进真空处理设备)是一种用于生产电子和机电元件的光敏设备。该系统用于在精确和自动化的环境中生产质量组件。DNS SK-80BW-AVPE是一个单柱,4级真空涂层单元。第一阶段是加工室,或称"反应堆",容纳所有的电子元件,以及气体馈线、泵和其他元素。第二阶段是蒸发室,其中金属或合金的薄层蒸发到晶圆或基板上。该腔室的设计目的是以最小的热载荷提供一致的结果。第三阶段是光敏沉积室,用于将一层薄薄的光敏沉积在基板上。该层随后暴露于紫外线光源,从而触发化学反应,蚀刻掉暴露的部分。无论这种光致抗蚀剂暴露在何处,金属或合金的底层都保留在基板上,从而可以产生电路。第四个也是最后一个阶段是等离子体增强室,用于进一步增强蚀刻过程。使用DAINIPPON SK和AVPE创建电子80BW机电元件的过程如下。首先,将基板放入加工室内,在那里暴露于真空压力和惰性气体。然后利用蒸发室将一层薄薄的金属或合金沉积到基板上。这层在光敏室中暴露于紫外线光源,然后将光敏胶烘烤一段特定的时间和温度,以确保适当的附着力。最后,等离子体增强室进一步蚀刻掉暴露的区域,同时也提供了更平滑的地形。SK-80BW-AVPE为生产优质电子元件提供了可靠、准确和经济高效的机器。它有助于确保整个生产过程中的一致性,同时简化整个过程。该工具还旨在确保操作员的安全和设备的长期耐用性。
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