二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298992 待售

DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE
ID: 9298992
晶圆大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是一种高性能的光刻设备,是半导体行业的主要参与者。它能够解决60 nm的特性,具有出色的晶片轮廓质量,不需要手动调整。其设计目的是提供最高的光刻涂层通量,作为对传统方法的显着改进。系统的核心是一个步进兼容的500 mm圆形旋转器,它与一个非常坚固的夹紧单元结合在一起。这种设计允许晶片非常耐用的转移,同时在转移过程中保护高度脆弱的光敏涂层。该机采用高性能、精密的伺服电机进行超细加工,并利用旋转器设计与喷嘴清洗工具一起减少颗粒污染。SC-80BW-AVPE资产还配备了高性能的空气排气,用于吸尘和控制环境,去除微观颗粒并确保优秀的晶片轮廓质量。该型号采用了最新的光刻胶应用技术和智能监控设备,以实现快速可靠的传输。该系统包括一个独特的单元,用于控制流体温度,使用精确的热传感器。本机确保光刻胶在理想温度范围内施用,在紫外线照射下达到最大精度和附着力。该工具还具有精确的激光位置检测功能,可进一步提高资产的精度,确保在整个晶片表面均匀覆盖光刻胶。总体而言,DNS SK-80BW-AVPE是一款高性能的下一代光刻胶机型,能够以惊人的精度解决极微小的特性。它配备了控制流体温度、空气排气和激光位置检测的先进系统,以提供完美粘附在晶片表面的均匀涂层。这种设备是半导体行业的一大优势,设定了光刻涂层的标准,只需最小的手动调整。
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