二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298993 待售

DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是一款由DNS Screen开发的深紫外（DUV）光刻设备。该系统以其集成的生产率、可靠性和准确性保持了较高的性能水平,这是半导体行业中技术驱动的应用所必需的。DNS SK-80BW-AVPE利用基于视觉的自动预曝光（AVPE）检查单元来确保光刻工艺之前的晶圆对准准确。该机采用TTL激光二极管技术检测边缘和中心对准，以及钢网缺陷检测。此外，其电动光学变焦使其能够同时精确调整晶圆尺寸和中心对准。检查以500/秒的像素速率进行，这使其能够检测到覆盖范围为75毫米x 75毫米的最小微结构。DAINIPPON SK 80BW AVPE具有车载DUV照明器,可在300-340 nm的波长范围内提供最佳剂量的DUV光,最大剂量为4 mJ/cm2。该工具还具有光化学自动化资产（PAS）,用户可以轻松配置光刻胶配方和曝光参数。PAS还能够存储多达99种食谱,这使用户能够灵活地在一个过程中切换不同的食谱。SK-80BW-AVPE的创新设计还包括一种内部温度控制模型，该模型无需外部冷却器，并提供可靠、可重复的光刻性能。二氧化氯环流设备提供了改进的安全措施和经济高效的解决方桉。此外,该系统还具有许多其他功能,可提高准确性和生产率。其中包括自动剂量、可编程曝光、两级自动溷合蚀刻和多稳定液冷照明器。总体而言,DNS/DAINIPPON SK 80BW AVPE单元为需要高精度和准确性的应用提供了可靠且经济高效的光刻胶解决方桉。其高性能的特征集和全面的安全措施使其成为现代微加工工艺的理想选择。