二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354131 待售
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ID: 9354131
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1998
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-26)
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
(3) Control racks
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF是用于半导体器件制造的先进光刻设备。它结合先进的无掩码光刻技术和尖端的光刻化学，产生优越的线条、空间和图样分辨率。该系统采用KrF激光直接图像投影技术，在各种晶圆基板上实现精确可靠的光刻。这优化了常规光刻的性能,从而降低了制造成本,提高了产量,缩短了周期时间。DNS SK-80BW-AVPF光刻胶的设计提供了卓越的分辨率和线缘控制.该装置采用先进的无机吸光器，可衰减248nm的最小激光波长，提高图样保真度和精度。它还具有专有的光聚合技术，在整个曝光范围内提供更大的光强度调制。结合这些特性,可提高对比度、减少图样失真、减少图像噪声和提高尺寸精度。另一个好处是机器与各种后处理技术，如湿蚀刻和干蚀刻兼容。这确保了所有半导体器件的制造过程都可以很容易地与DAINIPPON SK 80BW-AVPF光刻系统集成。总体而言，SK-80BW-AVPF光刻工具是需要精确线迹和边缘控制的设备制造的理想解决方桉。其扩展的分辨率能力，结合优越的光衰减，使其成为生产高质量半导体器件的高效、低成本的工艺。后处理技术的广泛选择使资产适合各种设备制造技术，涵盖电子和纳米技术的广泛应用。
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