二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354132 待售
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ID: 9354132
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1997
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-25)
In-line
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
Control rack
Interface
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF是专为先进的下一代光刻工艺而设计的高性能光刻设备。它旨在提供出色的过程控制、小特性分辨率和高性能。DNS SK-80BW-AVPF光刻胶系统由几个组件组成。首先，它包含一个非常精确的自旋涂层，它能够在广泛的基材和晶圆尺寸上实现均匀的光致抗蚀剂涂层。自旋涂层采用优化设计，有效支持各种晶圆尺寸和涂层参数。这样可以确保在整个基板上均匀地涂抹光致抗蚀剂。DAINIPPON SK 80BW-AVPF还包括一个高度精确和精细调谐的烘烤站，确保光刻胶烘烤均匀、适当。此外，烘烤站通常配置多层PEB（曝光后烘烤），以防止抗蚀剂涂层出现任何不均匀现象，降低涂层缺陷和颗粒的风险。此外，SK 80BW-AVPF单元包括高度精确的光刻曝光阶段，设计用于精确对齐基板，并提供最准确精确的曝光时间和强度。这个曝光阶段最大化了光刻胶层中小特徵的解析度。最后，DNS/DAINIPPON SK 80BW-AVPF包括一个专门的后开发化学加工站。这样可以确保光刻胶得到适当的开发并从基板上适当去除，从而形成一个均匀、无缺陷的层。此外，开发后的过程消除了可能造成污染和除气的有害残留物。总体而言，DAINIPPON SK-80BW-AVPF是一款先进的光刻机，旨在提供出色的工艺控制、小特性分辨率和高性能。它是用于先进的下一代光刻工艺的理想工具，可以帮助确保获得最高质量的光刻胶层。
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