二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVP #9182582 待售
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ID: 9182582
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
(2) Resists coater stations
ARC Coater station
Interface to NIKON NSR S203B Scanner
DUV-Resist
Housing with FFU
FTC
(2) Microbar trackmates
Scanner interface
Power supply: 208 V, 4.0 kW, 60 Hz, 4.0 A
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVP是一种光刻设备，设计用于薄膜微电子器件的生产和开发。它为分辨率和关键尺寸提供了卓越的平版印刷性能,为设备制造提供了高质量、可靠和可重复的结构。该系统由DI-3000E直接投影对准器和SK-80BW图像示波器组成。该DI-3000E利用最新的光学和计算机技术，实现了设备制造过程中对准的高精度和重复性。它使用基于激光的对准单元将基板与光掩模完美对齐，并使用LED确保对准完美。该机还具有先进的自动校正能力，使对准非常精确。SK-80BW图像示波器采用宽带激光器照射的真空光掩模，以及包含成像光学器件和光盾的特殊堆叠膜布置。光盾确保来自激光的光以受控和一致的模式反射，使高分辨率结构得以发展。该膜用于分离设备的功能组件，如AZOX层和金属层。DI-3000E和SK-80BW图像示波器的结合提供了出色的光刻性能，这使得该工具非常适合需要高分辨率、可靠和可重复结构的设备制造应用。凭借其先进的光学、计算机技术和光盾,该资产提供了确保可靠和一致的设备性能所需的精度和性能。它也有广泛的应用，包括生物医学设备、太阳能电池、传感器和显示材料。
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