二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVPE #9316585 待售

DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVPE是一种主要用于集成电路制造的高性能光刻设备。该系统配备了一种专利双喷射工艺，用于处理正负色调的光刻胶，允许优越的纵横比控制和表面精度。该装置的最先进的设计还包括真空辅助蚀刻和腔室控制，这有利于光刻胶的快速和准确的应用。DNS SK-80BW-BVPE机由一个湿式清洁站和一个光刻涂层工具组成，这两个工具都集成到一个紧凑的设备中。湿式清洁站采用先进的机器人液体输送技术，以化学和/或超声波方式同时清除有机和无机污染物，干燥至无颗粒物污染的均匀一致的表面。光敏涂层资产采用一种专利双喷射工艺，其中光敏化学物质通过两种不同的喷射方式输送：一种用于阳性（PMMA），另一种用于负性（SU-8）光敏。对两种不同的化学制剂进行精确计量，并引入装有集成大气等离子体发生器的腔室，以确保化学物质的均匀拍打。光致抗蚀剂的优化流动使晶片上的光致抗蚀剂层保持一致，改进了长宽比控制，提高了收率。集成的蚀刻室允许对光刻胶进行精密蚀刻，而无需额外的处理步骤。真空辅助蚀刻抗蚀剂是允许的，驱散挥发性光致抗蚀剂组件到一个单独的腔室和提高产量。最后，DAINIPPON SK-80BW-BVPE模型提供了优越的腔室稳定性和控制性，允许均匀，可重复处理的光刻胶。综上所述，SK-80BW-BVPE光刻设备采用了专门为集成电路制造量身定制的最先进的特性。该系统的双喷射工艺和集成蚀刻室可实现卓越的纵横比控制、更高的产量、更快的加工速度和更高的表面精度。光致抗蚀剂和集成等离子体发生器的优化流动提供了一致、均匀的模式，减少了浪费。总体结果是一个可靠、高性能的单元,旨在生产光刻胶以满足当今严格的制造要求。