二手 DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #9300359 待售

DNS/DAINIPPON SK-W80B-AVPE是一种采用高精度先进真空压印系统（AVP）的步进重复光刻设备。这个单元可以生产精确度为10和20nm的电子零件、半导体电路图样和光学元件，使得高分辨率材料的图样变得极为精确。该机采用高精度、直线电机驱动的5轴直线运动级和X-Y-Z-θ-Φ机构来扫描和对齐模式，确保更精确的曝光定位和运动学精度，可靠地降低模式失真的风险。该工具配有桌面和手动晶圆转运站，因此晶圆可以精确地放置在舞台上并移动到曝光站。还提供自动对齐资产,可实现精确对齐和可重复的可重复性。该模型旨在在整个生产过程中提供稳定、准确的曝光和一致的性能。它配备了高动态范围、高精度阶梯式可变形镜设备，在包括小针状特征在内的多种几何特征上实现高分辨率曝光，同时也确保了准确的放置精度和均匀曝光。此外，该系统还可以支持一种气隙填充技术，这种技术可以增加有效的光照并改善光学隔离。该单元是一台具有多种集成特性的紧凑型高性能光刻机，包括平均宽带激光功率为1.2W的激光二极管照明器、高精度真空压力机、移动台、XYZ θΦ移动机、X-Y光学编码器和可编程曝光参数。此外，内置防振工具以确保无振动操作，内置防尘防污结构可防止环境灰尘和颗粒进入资产。DNS SK-W80B-AVPE是一种坚固可靠的光刻模型,专为高精度处理而设计。该设备具有用户友好的界面和易于设置的参数，以简化光刻过程。该系统还完全符合SEMI P-14和P-19标准,是满足复杂、高精度光刻需求的绝佳选择。